Le ablation au laser excimer presentation

La dépendance de la vitesse d'ablation d'un alliage d'Al sur la taille du spot du faisceau laser 303 (10 à 150 um) a été étudiée en utilisant un laser excimère ArF fonctionnant à une longueur d'onde de 193 nm et de largeur d'impulsion inférieure à 4 ns. L'ablation a été réalisée dans l'air à une fluence de 11 J cm-2 et à une fréquence de répétition de 20 Hz. morphologie de surface et la profondeur des cratères produits par un nombre variable d'impulsions laser ont été caractérisées par microscopie électronique à balayage optique et.

L'ablation laser spectrométrie de masse par plasma à couplage inductif (LA-ICP-MS) a été utilisée comme une technique de diagnostic supplémentaires pour estimer la quantité de matière ablatée de cratères produits par un faisceau laser de diamètres différents. La taille des points du faisceau laser bleu 10000mw et le nombre d'impulsions laser appliquées au même point ont influencé la morphologie du cratère, le taux d'ablation, la forme et la quantité de particules déposées sur ou autour du bord du cratère. taux d'ablation a été trouvé pour être moins dépendante de la taille du spot de cratères supérieur à 85 um. Une augmentation de quatre fois du taux d'ablation a été observée avec la diminution de la taille de cratère de 150 um à 10 um.

laser bleu 30000mW

Les lasers excimères sont largement utilisés dans de nombreuses applications, telles que l'analyse chimique d'échantillons solides par ablation au lampe de poche laser à couplage inductif spectrométrie de masse à plasma, la photolithographie à haute résolution, qui est une technologie essentielle utilisée dans la fabrication de dispositifs microélectroniques, micro-usinage et le traitement d'un large éventail de matériaux, et de nombreuses autres applications.

La croissance rapide des applications laser excimer au cours des deux dernières décennies est en grande partie liée à la disponibilité d'un coût relativement faible, fiable, et les systèmes laser commerciaux puissants, ainsi que la nécessité d'une meilleure compréhension de l'interaction laser-matière. La longueur d'onde courte des machine gravure laser à excimères ultraviolets a amélioré la qualité du micro-usinage et a augmenté la polyvalence des caractéristiques qui peuvent être produites en utilisant ces lasers.

lasers Excimer UV sont des outils efficaces pour le micro-usinage et le traitement des matériaux ayant des propriétés différentes pour les raisons suivantes:

  • une absorption élevée des longueurs d'onde UV par la plupart des matériaux fait des lasers excimères des candidats appropriés pour le traitement de matériaux transparents;
  • l'énergie du photon est supérieure à la force de liaison chimique dans de nombreux matériaux, ce qui améliore l'efficacité et la qualité des processus d'ablation due à des effets thermiques réduits au minimum;
  • le faisceau laser peut être focalisé sur une taille de point plus petite que celle produite par des lasers de plus grande longueur d'onde, qui améliorent la résolution spatiale et étendent les applications au traitement et à l'usinage de petites entités.

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